일반기술

정압공기베어링

본 발명은 정압공기베어링에 관한 것으로서; 정압공기베어링을 구성함에 있어서, 다공질 세라믹 재료로서 다공성부재를 형성하여 상기 베어링을 구성하는 것을 특징으로 하여지니코늄 계열의 인체에 무해한 다공질 세라믹 재료의 개발에 성공함으로서 다양한 에어베어링 제품에 응용 생산이 가능하게 되었고, 세라믹다공질 재료를 이용하면 재료자체가 비자성, 비전도성 및 내부식성을 가지고 있어 압축공기를 사용하는 공기베어링의 수명을 현저히 높이고, 기존의 작은 급기공을 제작하는데 소요되는 막대한 제작비를 현저히 떨어뜨리는 것이 가능하기 때문에 초정밀 기기용 에어 베어링의 제작 단가를 획기적으로 줄일 수 있게 되었으며 본 발명에서 개발 된 다공성 재료와 세라믹 다공질 재료는 현재 국산화가 완료된 직선운동모터와 결합하여 위치결정 기구로 사용할 수 있는 시스템을 통합하여 초정밀 위치결정용 시스템의 제작이 가능하게 되었다.주요한 본 발명의 기술적인 관점은, 비자성, 비전도성, 내부식성의 다공질 재료를 개발하고, 다공질 재료로서 세라믹 계열의 가공기술, 다공질 재료를 다양한 형상으로 제작하는 기술, 다공질 재료의 세척기술, 다공성 재료의 개발과 가공 및 세척기술, 성능을 평가 할 수 있는 해석 패키지의 보편적인 기술을 제공하는 것이다.본 발명의 정압공기베어링은 지니코늄 계열의 인체에 무해한 다공질 세라믹 재료의 개발에 성공함으로서 다양한 에어베어링 제품에 응용 생산이 가능하게 되었고, 세라믹다공질 재료를 이용하면 재료자체가 비자성, 비전도성 및 내부식성을 가지고 있어 압축공기를 사용하는 공기베어링의 수명을 현저히 높일 수 있다. 또한 기존의 작은 급기공을 제작하는데 소요되는 막대한 제작비를 현저히 떨어뜨리는 것이 가능하기 때문에 초정밀 기기용 에어 베어링의 제작 단가를 획기적으로 줄일 수 있게 되었으며 본 발명에서 개발 된 다공성 재료와 세라믹 다공질 재료는 현재 국산화가 완료된 직선운동모터(Linear motor) 와 결합하여 위치결정 기구로 사용할 수 있는 시스템을 통합하여 초정밀 위치결정용 시스템의 제작이 가능하게 되는 등, 다수의 유용성을 가지는 발명이다