일반기술

주사 탐침 현미경의 기능성 디스크 및 이것을 이용하여 탐침과 기판간의 전기적 특성을 측정하는 방법

본 발명은 주사 탐침 현미경을 이용한 리소그래피 과정에서 탐침과 기판 사이에 인가되는 전류와 전압을 용이하게 측정할 수 있는 기능성 디스크와 이것을 이용하는 측정방법에 관한 것이다. 본 발명은 주사 탐침 현미경의 디스크를 각각의 단자를 가지면서 가운데 절연체를 두고 상하 조합되는 도전특성이 있는 디스크 상판과 디스크 하판으로 구성하고, 외부 측정기기를 디스크 상판과 디스크 하판의 단자에 연결하여 바이어스 전압 또는 전류 인가시 탐침과 기판 사이에 흐르는 전압 또는 전류를 측정하는 방법과, 외부 측정장치측에 연결하기 위한 각각의 단자를 가지면서 가운데 절연체를 두고 상하 일체형으로 조합되는 도전특성이 있는 디스크 상판과 디스크 하판으로 구성된 기능성 디스크를 제공한다.발명에 따른 주사 탐침 현미경의 기능성 디스크 및 이것을 이용하여 탐침과 기판 간의 전기적 특성을 측정하는 방법에 의하면, 외부 측정기기의 접근이 용이한 새로운 구조의 기능성 디스크를 제공함으로써, 탐침과 기판 사이의 상호관계 규명을 위한 다양한 측정의 요구에 적극 호응할 수 있는 효과가 있으며, 기존 주사 탐침 현미경에 대한 별도의 구조 변경없이도 외부 측정기기의 접근이 용이하므로 다양한 측정을 위하여 폭넓게 활용할 수 있는 장점이 있다.