일반기술

정전력을 이용한 초소형 그리퍼

본 기술은 작은 물체를 이동 및 조립 할 수 있는 초소형 그리퍼(micro gripper)에 관한 것으로서, 특히 정전력을 이용한 초소형 그리퍼에 관한 것이다. 본 기술에 따른 정전력을 이용한 초소형 그리퍼는, 대상물체를 정전기력으로 고정하기 위하여 동일 기판위에서 제조된 외부전극 및 내부전극과 상기 내부전극의 움직임이 가능하도록 상기 기판과 연결되어 상기 내부전극을 지지하는 적어도 하나 이상의 탄성지지체와 상기 내부 전극을 상기 대상 물체로부터 소정 거리 이동시켜 상기 대상 물체를 원하는 위치에 놓기 위하여 상기 기판에 상기 외부전극 및 내부전극과 같이 형성된 초소형 액츄에이터를 포함하여 된 점에 그 특징이 있다. 즉, 본 기술에 따른 초소형 정전형 그리퍼는, 초소형기계가공기술을 이용하여 같은 기판위에서 제조된 외부전극 및 내부전극과 상기 내부전극이 대상물체로부터 멀리 움직일 수 있도록 기판과 연결되어 내부전극을 지지하는 탄성지지체와 상기 내부 전극을 움직일 수 있도록 하는 초소형기계가공기술을 이용하여 제작된 초소형 액츄에이터를 포함하여 이루어진다.본 기술에 따른 정전력을 이용한 초소형 그리퍼는, 종래기술의 부피 및 가격과 같은 단점을 해결하기 위한 것으로 초소형기계가공기술을 이용하여 제조될 수 있는 이점을 제공한다. 한편, 본 기술은 센서, 액츄에이터, 신호처리 칩 등 작은 대상물체를 같은 기판상에서 제조된 외부전극 및 내부전극으로부터 발생한 정전기력을 이용하여 잡고, 원하는 위치에서 정전력을 제거함과 동시에 내부전극을 외부전극 및 내부전극과 같은 기판에서 동시에 제조된 초소형 액츄에이터를 이용하여 멀리 이동시켜 대상물체를 놓음으로서 작은 물체를 잡을 때 발생하는 점착현상을 제거할 수 있는 이점을 제공한다.다른 한편, 본 기술은 MEMS기술을 이용하여 정전형 초소형 그리퍼를 제작하므로 그리퍼를 소형화 및 대량생산 할 수 있으며, 이를 배열배치(arrayed microgripper) 할 수 있으므로 그리퍼 어셈블리의 속도 및 가격을 낮출 수 있는 이점을 제공한다. 즉, 본 기술에 의해 초소형기계가공기술을 이용하여 제조되는 정전형 그리퍼는 동일 기판위에서 동시에 여러개를 제작할 수 있으므로 그리퍼 생산원가를 절감할 수 있으며 제작된 초소형 그리퍼를 배열배치하여 동시에 여러개의 대상물체를 이동하여 초소형 어셈블리의 속도 및 원가를 낮출 수 있는 이점을 제공한다.