일반기술

압전액츄에이터를 가지는 이송장치를 이용한 극미세 이송시스템

본 발명은 초정밀 위치제어 능력이 우수하고 잔류 진동 및 외란을 감소시킬 수 있도록 한 압전 액츄에이터를 가지는 이송장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 압전 액츄에이터를 가지는 이송장치는 테이블과, 테이블을 이동시키기 위한 모터와, 모터의 회전력에 의해 회전되는 볼 스크류와, 볼 스크류가 관통되고 볼 스크류의 회전력을 직선운동으로 변환하는 볼너트와, 볼 스크류가 관통되고 볼너트와 체결되어 볼 스크류의 진행방향의 힘만을 테이블로 전달하기 위한 플렉셔와, 볼 스크류가 관통되고 플렉셔와 체결되는 제 1 스페이서와, 볼 스큐류가 관통되고 테이블 및 제 1 스페이서와 체결되는 제 2 스페이서와, 제 1 및 제 2 스페이서의 사이에 설치되어 전기적인 신호에 응답하여 미소 변위를 발생하여 테이블의 변위에러를 보상하는 압전 액츄에이터를 구비한다. 이러한 구성에 의하여, 본 발명에 의한 압전 액츄에이터를 가지는 이송장치는 정밀하게 테이블의 위치를 제어함과 아울러 테이블의 잔류진동 및 외란을 최소화 할 수 있다.테이블과, 상기 테이블을 이동시키기 위한 모터와, 상기 모터의 회전력에 의해 회전되는 볼 스크류와, 상기 볼 스크류가 관통되고 상기 볼 스크류의 회전력을 직선운동으로 변환하는 볼너트와, 상기 볼 스크류가 관통되고 상기 볼너트와 체결되어 상기 볼 스크류의 진행방향의 힘만을 상기 테이블로 전달하기 위한 플렉셔와, 상기 볼 스크류가 관통되고 상기 플렉셔와 체결되는 제 1 스페이서와, 상기 볼 스큐류가 관통되고 상기 테이블 및 제 1 스페이서와 체결되는 제 2 스페이서와, 상기 제 1 및 제 2 스페이서의 사이에 설치되어 전기적인 신호에 응답하여 미소 변위를 발생하여 상기 테이블의 변위에러를 보상하는 압전 액츄에이터와, 상기 모터에 실장되어 상기 모터의 회전력을 검출하기 위한 엔코더와, 상기 테이블에 부착되어 상기 테이블의 이동변위를 검출하기 위한 리니어 스케일 및 레이저 센서와, 상기 제 2 스페이서에 부착되어 상기 압전 액츄에이터의 변위를 검출하기 위한 캡 센서와, 상기 엔코더, 리니어 스케일, 레이저 센서 및 캡 센서로부터 검출신호를 입력받아 상기 테이블의 이동변위를 보상해주기 위한 제어부를 구비