일반기술

반도체 센싱소자의 제조방법

기체센서는 안정성(stability), 감도(sensitivity), 선택성(selectivity), 신속성(speed), 재현성(reversibility), 신뢰성(reliability) 등이 요구되고 있다. 이러한 기능을 나타내기 위해서는 적절한 열에너지를 가해주어 기체를 감지하는 물질을 활성화 시켜주어야 한다. 이를 위해 종래의 저항성분 대신 정온 특성을 갖는 BaTiO3를 사용해서 센서를 제조하기 위한 기술이다. 이러한 제조 기술을 통해서 신뢰성, 안정성, 생산성이 향상된 기체센서를 제조 할 수 있다.정온도 계수 특성이 나타나는 첨가제를 포함하는 티탄산바률 물질을 소결하는 단계와; 상기 소결한 티탄산바륨 물질의 상하측 표면을 폴리싱 및 경면 처리하여 일축 전원을 공급할 정온도 계수 기판으로 형성하는 단계와; 상기 정온도 계수 기판상에 실리콘 수소화물 가스를 이용한 증착법을 이용하여 저온 실리콘 절연막을 형성하는 단계와; 상기 정온도 계수 기판하부에 형성된 상기 저온 실리콘 절연막을 연마법을 사용하여 제거하는 단계와; 상기 저온 실리콘 절연막상에 센싱 영역과 패드 영역을 정의한 후 센싱 물질 및 전극으로 사용할 금(Au) 페이스트를 상기 센싱 영역과 패드 영역에 선택적으로 인쇄하고 열처리하여 센싱 물질 및 정온도 계수 기판에 전원을 공급할 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 센싱 소자 제조 방법.