일반기술

ESPI를 이용한 피검사무의 변형 여부 검출 및 고유진동모드 측정 방법

본 발명은 (a) 물체변형전 레이저 광원을 이용하여 피검사물의 화상을 검출하는 단계; (b) 물체변형후 레이전 광원을 이용하여 피검사물의 화상을 검출하는 단계; (c) 상기 (a) 단계를 통해 검출된 화상에서 상기 (b) 단계를 통해 검출된 변형후의 화상 강도를 감산하여 물체의 간섭무늬를 검출하는 단계; (d) 상기 (c) 단계를 통해 검출된 간섭무늬를 LUT(Look Up Table)를 적용하여 고화질로 디스플레이되도록 지원하는 단계; (e) 물체변형후 피검사물에 조사할 레이저광원을 외부로부터 입력된 전압값의 크기에 따라 적어도 두 번의 위상을 이동시키는 단계; (f) 상기 (e) 단계를 통해 이동된 위상도에 대해 필터링을 수행하는 단계; 및 (g) 상기 (f) 단계를 통해 필터링된 불연속적인 위상도를 연속적인 변형정보로 나타나도록 연속화 과정(unwrapping)을 수행하는 한편, 연속화된 변형정보를 3차원으로 디스플레이되도록 지원하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.(A) 물체변형전 레이저 광원을 이용하여 피검사물의 화상을 검출하는 단계(S100); (B) 물체변형후 레이전 광원을 이용하여 피검사물의 화상을 검출하는 단계(S200); (C) 상기 (A) 단계를 통해 검출된 화상에서 상기 (B) 단계를 통해 검출된 변형후의 화상 강도를 감산하여 물체의 간섭무늬를 검출하는 단계(S300); (D) 상기 (C) 단계를 통해 검출된 간섭무늬를 LUT(LOOK UP TABLE)를 적용하여 고화질로 디스플레이되도록 지원하는 단계(S400); (E) 물체변형후 피검사물에 조사할 레이저광원을 외부로부터 입력된 전압값의 크기에 따라 적어도 두 번의 위상을 이동시키는 단계(S500); (F) 상기 (E) 단계를 통해 이동된 위상도에 대해 필터링을 수행하는 단계(S600); 및 (G) 상기 (F) 단계를 통해 필터링된 불연속적인 위상도를 연속적인 변형정보로 나타나도록 연속화 과정(UNWRAPPING)을 수행하는 한편, 연속화된 변형정보를 3차원으로 디스플레이되도록 지원하는 단계(S700)를 포함하는 것을 특징으로 하는 ESPI를 이용한 피검사물의 변형여부 검출방법.