일반기술

시변 보상 삼중 Langmuir 플라즈마 탐침

본 발명품은 플라즈마 진단 탐침을 rf로 진동하는 플라즈마 전위에 대하여 floating 시켜 플라즈마 전위와 동일한 전위상태에서 탐침이 동작하게 하여, 플라즈마 전위와 탐침 전위가 다를 경우 발생하는 부유전위의 이동을 방지하여 플라즈마 밀도 n과 Te전자온도 를 정확하게 측정 할 수 있도록 하는 장치이다. 적어도 하나 이상의 프로브(probe)를 구비한 랭뮤어 플라즈마 진단장치에 있어서, 플라즈마에 의한 RF 전류를 줄이기 위하여 프로브에 플라즈마의 진동수 ω에 대한 LC 공진회로를 전기적으로 연결한 랭뮤어 플라즈마 진단장치가 개시된다.본 발명에 따르면 프로브의 포텐셜이 플라즈마 포텐셜과 같이 진동할 수 있도록 하여 기존의 랭뮤어 플라즈마 진단장치의 단점이었던 플라즈마 포텐셜의 RF 진동에 따른 플로팅 포텐셜의 변화를 획기적으로 줄임으로써 플라즈마 전자온도 와 플라즈마 밀도 의 정확한 측정이 가능하다는 이점이 있다.기존의 triple Langmuir 플라즈마 진단 탐침의 단점이었던 플라즈마 전위의 rf 진동에 다른 부유전압의 변화를 획기적으로 줄임으로써 플라즈마 전자온도 Te와 플라즈마 밀도 n의 정확한 측정이 가능하도록 하였다.