일반기술

고출력 진공자외선용 편광기

본 발명은 편광을 발생시키는 광부품인 편광기에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 고출력 진공자외선 파장에서 작동 가능한 편광기에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 진공자외선에서도 안정적으로 편광을 발생시키고 또한 서로 수직 방향으로 편광된 두 빛이 충분히 분리가 되며 입사한 빛의 경로와 편광된 빛의 경로가 일치하는 진공자외선용 편광기를 제공하는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 진공자외선용 편광기는 진공자외선을 투과 및 두 성분으로 편광시키는 magnesium fluoride 프리즘과 편광된 두 성분 중 사용하고자 하는 편광의 경로를 일치시키기 위해 calcium fluoride 프리즘 및 다수의 진공자외선용 반사거울로 구성이 된다. 아울러 진공자외선 파장영역에서 공기 중의 산소 및 수분에 의해 빛이 흡수되는 현상을 막기 위해 질소 기체등으로 정화할 수 있도록 기체 유입구를 장착하는 것을 특징으로 하고 있다본 발명에 따른 고출력 진공자외선용 편광기는 종래의 방식에 비하여,첫째, 광학접합된 계면이 없어 고출력 진공자외선에 사용이 가능하고,둘째, 거울을 사용함으로써 두 편광사이의 거리를 충분히 분리시켜, 이를 사용하는 광학기기의 길이가 크게 축소되는 이득이 있으며,셋째, 진공 또는 질소 유입이 가능하여 대형 질소 용기를 사용하지 않고도 산소에 의한 진공자외선의 흡수를 방지할 수가 있다. 고출력 진공자외선에 의해서도 훼손이 되지를 않고 또는 분리된 두 편광사이의 거리가 충분하여 이를 사용하는 장비의 길이가 축소되는 효과가 있다.