일반기술

플루오로알킬술폰늄염의 광산발생기가 치환된 화합물과 이를 중합한 공중합체

* 기술 개요본 기술은 광산발생기로 플루오로알킬술폰늄염이 치환된 신규 화합물과, 상기한 신규 화합물과 메타아크릴레이트를 라디칼 중합하여 제조된 유기용매에 대한 용해성이 우수한 신규 공중합체에 관한 것이다. 본 기술에 따른 플루오로알킬술폰늄염의 광산발생기가 치환된 신규의 단량체로부터 중합하여 제조된 공중합체는 유기용매에 대한 용해성 및 도포성능이 우수하다. 본 기술에서 합성한 신규한 고분자는 화학증폭형 포토레지스트, AFM 리소그래피용 레지스트 및 e-beam용 레지스트로 쓰일 수 있으며, 그 성능이 좋을 시 아주 좋은 시장성을 지닐 수 있다.* 장점본 기술에 따른 플루오로알킬술폰늄염의 광산발생기가 치환된 신규의 단량체로부터 중합하여 제조된 공중합체는 유기용매에 대한 용해성 및 도포성능이 우수하다.* 발명의 특징 - 신규한 PAG 단량체의 합성. - 신규 합성한 PAG 단량체와 다양한 아크릴레이트 단량체의 라디칼중합을 통한 신규한 고분자 합성.* 적용응용분야 및 시장성본 발명에서 합성한 신규한 고분자는 화학증폭형 포토레지스트, AFM 리소그래피용 레지스트 및 e-beam용 레지스트로 쓰일 수 있으며, 그 성능이 좋을 시 아주 좋은 시장성을 지닐 수 있다.