일반기술

적층형 세라믹 엑추에이터를 이용한 유체제어 시스템용압전밸브 제조 방법

본 발명은 적층형 압전밸브(Multilayer Type Piezoelectric Valve) 제조방법이 개시된다.; 본 발명에 따르면, 밸브 시트 다이의 입출구를 형성하는 제 1 과정; 밸브 시트 다이에 시트를 성형하는 제 2 과정; 밸브 시트 다이에 질화막을 증착한 후 패터닝하는 제 3 과정; 밸브 엑추에이터 다이와 시트 다이를 선택적 접합하는 제 4 과정; 밸브 엑추에이터 다이에 다이어프램을 제조하는 제 5과정; 적층형 세라믹 엑추에이터와 엑추에이터 다이를 내열 유리박막을 이용하여 양극접합하는 제 6 과정; SU-8 몰드를 이용하여 PDMS 실링 패드를 성형하는 제 7 과정; 및 상기 단계를 거쳐 제조된 적층형 압전밸브를 스테인레스 스틸을 사용하여 패키지하는 제 8 과정으로 이루어진 것을 특징으로 한다.적층형 세라믹 엑추에이터를 이용한 적층형 압전밸브 제조 방법에 있어서, 밸브 시트 다이의 입출구를 형성하는 제 1 과정; 밸브 시트 다이에 시트를 성형하는 제 2 과정; 밸브 시트 다이에 질화막을 증착한 후 패터닝하는 제 3 과정; 밸브 엑추에이터 다이와 시트 다이를 선택적 접합하는 제 4 과정; 밸브 엑추에이터 다이에 다이어프램을 제조하는 제 5과정; 적층형 세라믹 엑추에이터와 엑추에이터 다이를 내열 유리박막을 이용하여 양극접합하는 제 6 과정; SU-8 몰드를 이용하여 PDMS 실링 패드를 성형하는 제 7 과정; 및 상기 단계를 거쳐 제조된 적층형 압전밸브를 스테인레스 스틸을 사용하여 패키지하는 제 8 과정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 적층형 세라믹 엑추에이터를 이용한 초정밀 유량제어용 압전밸브 제조방법.