일반기술

질소 처리와 금속 촉매를 이용한 금속 산화물 나노 와이어 및 그 제조 방법

금속 촉매의 이용과 질소 열처리법을 통해 나노 와이어를 제조하여 가스 감응 특성을 높일 수 있는 금속 산화물 나노와이어 및 그 제조방법에 관한것이다. 기판상에 금속을 증착시키는 단계와, 상기 금속 증착후에 질소 분위기의 열처리 하여 나노 와이어를 성장시키는 단계와, 상기 질소 분위기의 열처리 후 산소 분위기의 열처리 하는 단계를 포함하는 나노 와이어 및 그 제조방법을 제공한다. 상기 산소 분위기의 열처리 600~ 600도 온도 범위에서는 2~3시간 열처리하는 것을 특징으로 한다.금속산화물 나노 와이어 및 그 제조방법은 고진공의 분위기가 요구되는 기존의 화학 기상 증착법이나 레이저 증착법과는 달리, 열증착법과 간단한 N2 열처리 방법으로 금속 산화물 나노 와이어를 제조하여 제작 공정이 보다 간단하여 제조 단가를 낮출 수있다. 또한 금속을 촉매로 사용하기 때문에 나노 사이즈 직경의 와이어를 고르게 얻을 수 있으며, 나노와이어 센서를 연속해서 제작할 수 있다. 이를 통해 기존의 센서에 비해 높은 감도 특성을 가질수 있으며, 그 반응 속도도 빨라 향상된 수준의 나노 와이어 센서를 제공할 수 있다.