일반기술

절연막의 적층 증착에 의한 저항 메모리 소자 형성 방법

저항 메모리 소자의 저항 소자 제작에 있어, 기판 위에 하부전극을 증착하는 공정, 하부전극 위에 절연막을 증착하는 공정, 절연막을 결정이 형성되지 않는 저온에서 열처리하는 공정, 절연막 증착과 저온 열처리를 원하는 절연막 두께까지 반복하여 절연막을 적층하는 공정, 결정을 유도하기 위하여 고온에서 열처리 하는 공정 및 절연막 위에 상부전극을 증착하는 공정으로 저항 소자를 형성한다. 이러한 방법에 의해서 Forming이 없는 forming-free한 스위칭 현상을 유발할 수 있으며, 동작 전압을 낮출 수 있는 효과가 있다.본 발명에 의한 절연막의 적층증착에 의한 저항 메모리 소자의 제조방법은 저항 메모리 소자 제조공정에서 절연체 박막을 형성하는 데 있어 절연체 박막의 형성과 저온 열처리를 반복하여 원하는 두께로 적층한 후 최종 고온 열처리를 함으로써 종래 저항 메모리 소자를 구동하기 위해서 반드시 필요로 하였던 포밍과정을 생략하여도 저항의 스위칭 현상이 유발되어 저항 메모리 소자의 구동이 가능하다.또한, 종래에 비하여 크게 낮아진 동작 전압과 높아진 저항비를 얻을 수 있어 저항 메모리 소자의 동작 특성이 크게 개선된다.