일반기술

게터의 수명 측정 방법 및 장치

본 기술은 게터의 수명 측정 방법 및 장치에 관한 것으로, 본 기술의 게터의 수명 측정 장치는 정제기 하우징의 한 지점과 게터 사이 또는 정제기 하우징의 두 지점 사이에 전원을 공급하는 직류 또는 교류 전원공급장치; 상기 정제기 하우징의 한 지점과 상기 게터 사이 또는 상기 하우징의 두 지점 사이의 전류 또는 저항을 측정하는 장치; 미리 입력된 저항 또는 전류값과 와 측정된 저항 또는 전류값을 비교하여 입력값과 측정값이 일치하는 경우 전기적 신호를 발생하는 수단; 및 상기 전기적 신호 발생수단으로 부터 발생한 신호를 광 신호 또는 소리 신호로 변환시키는 수단으로 구성되는 것을 특징으로 한다.따라서, 본 기술의 목적은, 게터의 전기적 성질이 게터의 오염도에 따라 변화하는 성질을 이용하여 게터의 수명을 측정하는 방법을 제공하는 것이다.본 기술의 다른 목적은 게터의 전기적 성질을 측정하여 게터의 수명을 알려주는 장치를 제공하는 것이다.본 기술은 게터의 수명 측정 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 오염도에 따라 변화하는 게터의 전기적 성질을 측정하여 게터의 수명을 측정하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 집적회로를 제조하는 반도체 산업에서는 고순도의 제조공정이 요구되고 있으며, 이러한 제조공정에 사용되는 수소 가스 등도 고순도의 가스 사용이 요구되고 있다. 따라서,반도체 제조공정에 사용되는 가스는 정제기를 통해 정제하여 사용하게 되는데 이러한 정제기에는 가스의 불순물을 흡수하는 게터가 충전되어있다. 이 게터가 오염되어 제 기능을 상실하는 경우에는 정제되지 않은 가스가 반도체 제조공정에 사용되어 불량품이 제조되므로 막대한 손실이 생기게 된다. 그러므로, 게터의 수명을 미리 예고하여 적절한 교체시기를 알려주는 장치가 필요하게 되었다. 본 발명자는 합금으로 제조된 게터의 전기적 성질이 오염도에 따라 변화한다는 점에 착안하여 본 발명의 장치를 개발하기에 이르렀다. 게터의 종류와 장치에 따라 일정한 저항이나 전류 치수를 미리 결정해 두고 그 이상의 저항값이나 그 이하의 전류값이 나타나는 경우 감지하여 표시하는 장치를 사용하면 용이하게 게터를 교체할 수 있다.본 기술의 게터의 수명 측정 방법 및 장치는 측정방법이 간단하고 게터의 수명을 자동으로 신호로 알려주므로 게터의 교체시기를 용이하게 알 수 있는 장점이 있다. 따라서, 수명이 다한 게터를 계속 사용하는 것으로 인한 가스의 오염 및 이에 따른 반도체 제품의 오염을 미리 방지할 수 있게 된다.