일반기술

디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서 및 그 제조방법

*원리 및 특징이 기술은 교류자기장에 의해 진동하는 자왜(Magnetostriction) 센서의 배열을 활성화함에 의해, 동위원소나 효소 및 형광염료 등과 같은 표식을 사용하지 않고서도 유전물질의 분석과, DNA 교잡 과정과 같은 동적정보를 간단하면서 빠르게 실시간으로 관찰하는 것이 가능한 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서 및 그 제조방법을 제공한다. 이를 위해 이 기술은 실리콘 박막의 밑면에 실리콘 질화막이 증착되고, 그 상면에 스퍼터링 기법을 이용하여 텅스텐 박막이 증착되는 단계와, 상기 텅스텐 박막 상에 자왜 센서재료를 위한 자성층이 증착되는 단계, 상기 자성층이 광리소그라피 방식을 이용하여 패턴화되는 단계, 상기 자성층의 상면에 스퍼터링 기법을 이용하여 DNA의 고정을 위한 금층을 증착시키는 단계, 스퍼터링 기법을 이용하여 텅스텐의 캡핑층(Capping Layer)이 증착되는 단계, 상기 증착된 텅스텐 박막이 패턴화되는 단계, 상기 실리콘 기판을 수 용액으로 식각처리시키는 단계 및, 상기 텅스텐의 캡핑층을 제거하는 단계로 이루어진 것이 특징이다.*특징 및 적용분야외부로부터의 교류자기장이 길이방향을 따라 인가되는 자왜 센서부와, 상기 자왜 센서부와 결합된 플랫폼에 고정 배치되고서, 목표 DNA 연속체와 교잡되어 자왜 센서부로부터 인가되는 교류자기장에 대한 공명 주파수의 변화가 발생되는 DNA 탐침으로 구성된 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서를 제공한다.이를 위해 이 기술을 이용하면, 실리콘 박막의 밑면에 실리콘 질화막이 증착되고, 그 상면에 스퍼터링 기법을 이용하여 텅스텐 박막이 증착되는 단계와, 상기 텅스텐 박막 상에 자왜 센서재료를 위한 자성층이 증착되는 단계, 상기 자성층이 광리소그라피 방식을 이용하여 패턴화되는 단계, 상기 자성층의 상면에 스퍼터링 기법을 이용하여 DNA의 고정을 위한 금층을 증착시키는 단계, 스퍼터링 기법을 이용하여 텅스텐의 캡핑층(Capping Layer)이 증착되는 단계, 상기 증착된 텅스텐 박막이 패턴화되는 단계, 상기 실리콘 기판을 수용액으로 식각처리시키는 단계 및, 상기 텅스텐의 캡핑층을 제거하는 단계로 이루어진 것을 특징인 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서의 제조방법을 제공한다.