일반기술

광도파관으로 이루어진 광결합기 센서 및 그의 제조 방법

본 발명은 광도파관으로 이루어진 광결합기 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 미소한 물리량 및 그의 변화량을 고감도로 감지할 수있도록 이동 광도파관 및 고정 광도파관을 포함하는 광결합기 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 광결합기 센서는 기판 상에 형성된 고정 광도파관; 및 기판 상에 형성된 켄틸레버에 연계되며 전기한 고정 광도파관과 일정 간격 이격 형성되어 외력에 의해 상하로 이동할 수 있는 이동 광도파관으로 구성된다. 또한, 본 발명의 광결합기 센서 제조 방법은 기판 상에 클래딩층을 형성하고 클래딩층 상에 코어층을 형성하는 과정; 전기한 코어층을 식각하여 고정 광도파관을 형성하는 과정; 전기한 클래딩층 및 고정 광도파관 상에 지지층을 형성하는 과정; 전기한 지지층 상에 켄틸레버 및 켄틸레버와 연계된 이동 광도파관을 형성하는 과정; 및 전기한 지지층을 선택적 식각하여 켄틸레버 지지판을 형성하는 과정을 포함한다. 본 발명의 광결합기 센서는 미소한 물리량 및 그의 변화량을 고감도로 측정 및 감지할 수 있으며, 본 발명에 의해 전기한 광결합기 센서를 간단한 과정에 의해 경제적으로 제조할 수 있다.