일반기술

흔들림 안정화 장치 및 그 제어방법

본 기술은 지지기반을 통해 흔들림이 전달되는 기계장치 또는 설비 등에 흔들림 안정화 장치를 장착함으로써, 장치 또는 설비의 흔들림을 방지할 수 있는 흔들림 안정화장치 및 그 제어방법에 관한 것이다. 본 발명은 지지부의 흔들림을 흡수하기 위한 다관절부; 상기 다관절부에 장착되어 고정마크의 위치를 측정하는 고정마크 위치 측정센서; 상기 고정마크 위치 측정센서에서 측정된 위치 측정값을 목표값으로 제어하기 위한 능동제어부로 구성된 것을 특징으로 한다. 본 발명은 흔들림 안정화 장치에 장착된 고정마크 위치 측정센서로 외부에 고정된 고정마크를 관측하는 관측단계; 상기 관측단계 후 흔들림 안정화 장치 상부의 목표위치와 현재위치 및 속도를 추출하는 추출단계; 및 상기 목표위치와현재위치 및 속도를 제어기에 입력하여, 흔들림 안정화 장치의 서보모터에 출력하는 제어단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따르면, 지지부에 대한 흔들림은 그대로 인정하고 안정화장치의 상체만을 고정시킨 듯이 제어하는 방식으로 진동에 대한 특별한 설계 없이도 흔들림 안정화가 가능하기 때문에 반도체 장비, 초정밀 위치제어기구 등의 제어에 적용되어 제어효율을 높일 수 있는 효과가 기대된다.(본 기술은 지지기반을 통해 흔들림이 전달되는 기계장치 또는 설비 등에 흔들림 안정화 장치를 장착함으로써, 장치 또는 설비의 흔들림을 방지할 수 있는 흔들림 안정화장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.)*시장성- 로봇사업을 포함하여 흔들림 안정화 장치가 필요한 산업분야로의 시장형성이 예상되며 시장규모 및 성장의 잠재성은 매우 크다고 판단된다.- 향후 충분한 수요처의 확보는 가능할 것으로 보여 사업화 및 제품화 가능성이 높을 것으로 판단된다.