일반기술

단일 모드 수직 공진 표면방출 레이저

본 발명의 경우에는 횡 방향으로 선택적인 광 흡수층과 이온 주입층의 동시적 사용과 그 상대적 크기 차이에 의해 수직 공진 표면 방출 레이저의 단일 모드 특성을 향상하였다. 광흡수층이 모드 가장처리에 있는 빛을 흡수함으로써 고차 횡모드의 광 손실을 증가시키고, 고차 횡모드의 레이저 발진을 막는다. 특히 광 흡수층은 가운데가 패터닝 및 에칭 공정에 의하여 제거되었기 때문에 기본 모드에는 작은 광 손실을 고차 모드에는 더 큰 광손실을 일으킨다. 광흡수층의 직경이 이온 주입층 직경에 비해 약간 작을 때 기본ㅁ 모드가 휠씬 넓은 범위에서 단일 모드로 동작하는 특징을 가지고 있다.넓은 동작 전류 영역에서 단일 모드 출력이 유지되도록 하는 효과를 제공한다. 또한 본 발명은 이을 위해서 전류 감금 구조로서 이온주입층을 형성하고 이를 광 흡수층과 동시에 사용하도록 하고, 광흡수층의 직경이 이온주입층의 직경에 비해 작도록 형성하여 고차 횡모드의 레이저 발진을 방지하여 단일모드로서의 사용이 가능하도록 하는 효과를 제공한다. 또한 본 발명은 종래에 비해 보다 단순한 구조의 표면발광 레이저를 제공하여 보다 넓은 동작 전류 영역에서 단일 도므 출력이 유지되도록 하는 효과를 제공한다.