일반기술

극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성방법 및 시스템

본 기술은 극초단 펄스 레이저를 이용하여 가공물에 단일 펄스 패턴을 형성하는 방법으로서,상기 가공물을 이송 스테이지에 장착하는 제1단계와, 상기 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 레이저빔의 세기를 결정하는 제2단계와, 상기 이송 스테이지의 이동 속도를 조절하여 상기 패턴의 간격을 결정하는 제3단계와, 상기 결정된 세기 및 패턴의 간격에 맞게 레이저빔을 생성하여 조사하는 제4단계와, 상기 조사된 레이저빔을 집속하여 상기 가공물에 조사하여 주기적인 점 패턴을 형성하는 제5단계를 포함하는 극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성방법에 관한 것이다.본 기술은 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 극초단 펄스 레이저빔을 이용하여 단일 펄스로 주기적인 점 패턴을 형성하기 위한 것으로, 이를 위한 본 기술은 가공물을 이송 스테이지에 장착하는 제1단계와, 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 레이저빔의 세기를 결정하는 제2단계와, 이송 스테이지의 이동 속도를 조절하여 패턴의 간격을 결정하는 제3단계와, 결정된 세기 및 패턴의 간격에 맞게 레이저빔을 생성하여 조사하는 제4단계와, 조사된 레이저빔을 집속하여 가공물에 조사하여 주기적인 점 패턴을 형성하는 제5단계를 포함한다. 따라서, 기존 펨토초 레이저를 이용한 직접기입 방법에서의 가공 시간이 길어지게 단점과, 장시간의 가공에서 오는 안정성이 떨어지게 되는 문제점을 해결할 수 있어 브래그 격자 제작에 수천배 빠른 가공 속도로 균일한 점 패턴을 매우 유용하게 제작할 수 있는 효과가 있다.