일반기술

고주파 집적 회로 장치 및 그 제조 방법

* 구성 및 원리 본 기술은 신호 라인간 커플링 노이즈 및 신호누설 현상을 감소시켜 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 하는 고주파 집적 회로 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 내부회로에 그라운드 전압을 공급하도록 실리콘 기판 상에 형성되는 다수의 그라운드 패드가 설치되고, 그라운드 패드에 연결되는 다수의 그라운드 라인이 설치되고, 내부 회로에 입력 신호를 공급하도록 실리콘 기판 상에 형성되는 다수의 신호 패드가 설치되고, 신호 패드와 내부회로 사이에 연결된 다수의 신호 라인 및 신호 라인간의 커플링을 방지하기 위하여 각각의 신호 라인 주위를 쉴딩하며 그라운드 패드에 접속되는 가이드 라인이 설치되어 구성된다. * 기술개발 배경 종래의 고주파 집적 회로 장치를 집적하는 경우에는 소자 전체의 밀도를 균일하여 식각 공정이 패터닝 정밀도를 향상시키고 임플란트 공정시 임플란트가 균일하게 주입되도록 하기 위하여 필수적으로 더미 패턴(Dummy Pattern)을 오토 제너레이션(Auto Generation)하여 삽입하였는데, 이러한 더미 패턴에 의해 이웃하는 금속 배선 사이에서 발생하는 커플링 노이즈 성분 및 신호누설이 더욱 증가하게 되는 문제점이 있었다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 개발되었다.* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 고주파 집적회로 장치는 와이어리스 송수신 장치나 휴대정보 단말기 등에 가장 많이 적용될 것이며, 무선 네트워크나 무선 인터넷 분야에 적용될 것으로 예상된다. 이 무선 통신 시장은 점차 그 규모가 커지고 있어 시장성 또한 유망하다고 판단된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 첫째, 신호 라인의 주위에서 신호 라인을 감싸며 그라운드에 연결되는 가이드 라인을 배치하여, 신호 라인과 절연막 사이의 기생 캐패시턴스 증가에 따른 신호 라인간 커플링 노이즈를 감소시킴으로써, 신호지연(RC-delay)이나 서로 인접하는 금속 배선간 신호간섭(Crosstalk) 및 신호누설(Leakage) 를 방지하여 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 둘째, 고주파 집적 회로의 오토 제너레이션(Auto Generation)시에 더미 패턴을 삽입하지 않고, 신호 라인 즉, 금속 배선 주변에 가이드 라인을 배치하여 금속 배선과 주변 영역과의 밀도 차를 방지하여 패터닝 정밀도 및 임플란트 균일화를 이룰 수 있는 이점이 있다.