일반기술

박막 필름 결함검출장치

* 구성 및 원리 본 기술은 박막 필름 결함 검출 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 선형 입사 적외선이 박막을 통과하여 입사될 때 박막의 결함 부위에서 적외선 산란이 일어남을 이용한 필름 결함 검출 장치에 관한 것이다. 본 기술의 구성은 다음과 같다. 받침대에 지지되며 좌,우 상면 양측에 이송가이드가 설치된 베이스판과 상면에 검사용 박막이 얹혀지며 베이스판의 이송가이드와 결합되는 이송지그가 좌,우 측면에 설치된 이송대가 설치되고, 이송대를 이송하기 위한 이송수단과 베이스판 하면에 설치되어 적외선을 방출하는 레이저 라인빔과 상기 레이저 라인빔에서 방출된 산란된 적외선을 검출하기 위한 일정 간극을 유지한 한 쌍의 적외선 센서모듈이 설치되고, 적외선 센서모듈이 얹혀지며 상기 베이스판에 고정설치되는 지지대와 상기 적외선 센서모듈에서 검출된 적외선을 비교 분석하여 결함여부를 판정하고 결과를 알려주는 모니터링부가 설치되어 구성된다. * 기술개발 배경 박막트랜지스터 액정표시장치는 당초 노트북용으로 개발되어 지금은 개인용 컴퓨터 모니터와 텔레비전, 소형 통신기기에도 이용되어 폭발적인 수요를 보이고 있다.이러한 박막트랜지스터 액정표시장치의 기술 요소는 컬러필터, 액정, 필름 등의 기초소재와 편광필름, 백라이트유닛, 기판 유리 등의 주요 부품과 각종 검사 장비 등이 있으며, 이중에서 편광필름은 액정셀의 양면에 부착하여 백라이트에서 나오는 빛의 투과를 조절하는 기능을 하는 것으로 필수 부품 중의 하나로서, 편광발생 방법에 따라 여러 가지가 있으나 시판되고 있는 것은 롤에 필름형태로 감겨진 각 재료를 접착시키는 제조방법으로 생성된다. 전수 검사는 숙련된 작업자에 의한 육안검사로 대부분 이루어지고 있어 인력과 검사 시간이 많이 소요되는 문제점을 가지고 있다. 또한, 작업자의 주관적인 판단에 따라 결함 유무를 판단함으로써 작업자에 많이 의존하게 되어 검사의 신뢰성을 저하 시키는 문제점을 가지고 있다* 적용제품 및 관련시장 본 기술의 박막 필름 결함검출장치는 박막트랜지스터 액정표시장치에 적용될 것이다. 박막트랜지스터 액정표시장치는 당초 노트북용으로 개발되어 지금은 개인용 컴퓨터 모니터와 텔레비전, 소형 통신기기에도 이용되어 폭발적인 수요를 보이고 있다. 현재 이 박막트랜지스터 액정표시장치의 시장은 모니터 및 텔레비젼을 중심으로 급속히 시장이 커지고 있으며, 본 기술은 이러한 시장에서 매우 유용한 기술로 평가된다. * 특징 및 장점 본 기술은 다음과 같은 특징 및 장점이 있다. 레이져 라인빔의 결함 부위에서의 산란 특성을 이용하여 박막의 결함을 자동으로 검출함으로서 검출하는 작업 시간을 절약할 수 있어 작업의 효율성을 증대할 수 있다.또한, 객관적인 비교 자료에 의해서 결함 유무를 판정함으로써 검사에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.