일반기술

미세렌즈 배열 및 그의 형성방법

본 발명은 미세렌즈 배열 및 그 형성방법에 관한 것이다. 본 발명의 미세렌즈 배열은 유리판의 일면에 원뿔형태를 지닌 복수개의 전면 미세렌즈가 구성된 저면 미세렌즈군; 및, 전기 유리판의 반대면에 전기한 전면 미세렌즈 각각의 중심점과 엇갈리는 중심점을 지나며 원뿔형태의 지닌 복수개의 이면 미세렌즈가 구성된 이면 미세렌즈군을 포함한다. 또한, 본 발명의 미세렌즈 배열 형성방법은 유리판의 전면에 SOG(Spin-On-Glass)막을 형성하여 막의 상면에 포토레지스트를 입히고 포토레지스트의 표면에 마스크를 대고 빛을 조사하여 포토레지스트를 선택적으로 감광 및 현상시켜 전면 포토레지스트 패턴배열을 형성하는 단계; 전기한 전면 포토레지스트 패턴배열 형성단계와 동일한 방법을 사용하여 전기 유리판의 후면에 전면 포토레지스트 패턴 배열의 패턴 중심점의 중앙에 후면 포토레지스트 패턴의 중심점이 위치하도록 후면 포토레지스트 배열패턴을 형성하는 단계; 및, 전기한 단계에 의한 유리판의 양면에 포토레지스트 패턴배열이 형성된 유리판을 불산용액으로 식각하여 원뿔형태의 미세렌즈를 형성하는 단계를 포함한다. 미세렌즈 배열의 사용 목적에 따라 SOG막의 두께와 포토레지스트 패턴의 지름을 적절히 조절함으로써, 다양한 미세렌즈의 형성이 가능하다.