일반기술

나노미터의 측정 해상도를 가지는 용량형 갭센서를 이용한 가공 및 측정용 나노 프루브 센서 장치

본 발명은 다양한 범위의 분해능을 구비하고 있는 정전 용량형 갭 센서와 다양한 탄성력을 구비하고 있는 탄성수단을 적절하게 취사 선택하여 요구되는 작업의 정도에 따라 능동적으로 대처할 수 있는 센서 장치에 관한 것으로서, 중심 축 방향으로 내부 수용 공간이 구비되는 하우징과 상기 하우징의 내부 수용 공간 상단부에 고정 결합되는 정전용량형 갭 센서와 일단에는 소재 표면의 상태를 측정할 수 있는 프로브 장치 또는 소재 표면을 가공할 수 있는 가공 팁 장치 중에서 선택되는 어느 하나가 착탈식으로 결합도리 수 있도록 결함홈부가 구비되면 상기 정전 용량형 갭 센서와 일정 간격 이격된 상태로 상기 하우징의 내부 수용 공간 하단부에 위치하여 상기 하우징 내부 수용 공간을 슬라이드 운동하는 가이드부와 상기 정전 용량 갭 센서와 상기 가이드부 사이에 개제되는 탄성수단을 포함하여 이루어지는 센서 장치를 제공함을 그 기술적 특징으로 한다.본 발명은 뛰어난 분해능을 구비하고 있는 정전 용량형 갭 센서를 이용하여 소재의 표면 상태를 직접 측정하거나 또는 소재의 표면을 직접 가공할 수 있는 센서 장치를 제공할 수 있다는 이점이 있다.또한, 본 발명은 다양한 범위의 분해능을 구비하고 있는 정전 용량형 갭 센서와 다양한 탄성력을 구비하고 있는 탄성수단을 적절하게 취사 장치를 구성할 수 있게 됨에 따라 요구되는 작업의 정도에 따라 능동적으로 대처할 수 있도록 해준다.