일반기술
액상결정 성장에서 선택적 용액 식각을 이용한 집적형태의 광소자
LPE 장비의 melt back 기술을 이용하여 제작된 마이크로렌즈를 발광 다이오드, 반도체 레이저 및 수광소자에 응용하였다.본 발명의 발광소자에 있어서 광출력과 양자 효율을 증대시킬 수 있으므로 발광다이오드나 레이저 다이오드의 광 특성을 향상 시킬수 있고, 수광소자에서는 렌즈의 집적에 의해 수광효율을 증대 시킬수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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