일반기술

지붕형반사기를 갖는 반도체 레이저 구조

띠모양의 반도체 레이저 구조에 관한 것으로 특히 광전집적회로에 적합하게 한 지붕형 반사기를 가지는 반도체 레이저 구조에 관한 것이다. 한 쪽 반사면은 비등방성 화학적 식각에 의해 지붕형 반사기로 형성하여 작은 공명기 제작이 용이하고 단파장 레이저 제작이 용이한 레이저 구조를 창안한 것이다.이것은 종래의 띠모양 반도체 레이저와 유사한 전기적,광학적 특성을 갖게 되고, 이에 따라 종래의 레이저와 상호교환사용이 쉽게되고, 이론상 100%정도의 높은 반사율을 갖게된다.공정이 매우 쉬우며 제작단가가 저렴하고 높은 수율을 가지며, 두반사기중 한쪽을 자르지 않고, 화학적 식각에 의해 제작하기 때문에 반사기 위치를 자유로이 선택할 수 있고, 이에 따라 작은 공명기 제작이 용이하여 단파장 레이저 제작이 수월하게 된다. 또한 이 특성에 의해서, 동작개시 전류가 낮게되어 열발생이 적게되고 많은 여유면적을 제공하므로, 광전집적회로 제작에 적합하게 된다. 또한 반사기가 어레이 형태로 배열된 경우에는 필라멘테이션의 유도와 안정화를 꾀하여 복사특성의 향상이 가능하게 되는 효과가 있다.