일반기술

반도체식 후막가스 센서소자 및 가스센서소자의 성능측정장치

본 발명에 의한 반도체식 후막가스센서 소자는 기판 전면에 전극 및 감지막으로 이루어지는 센서가 2개이상 형성되어 센서 어레이를 이루고, 기판 후면에 히터가 형성되어 있으며, 감지막을구성하는 감지 물질은 산화주석을 포함한다. 또한 본 발명에 의한 가스 센서 소자의 성능 측정장치는 4방향 밸브 및 미니반응조를 포함한다. 반도체식 후막가스센서 소자는 각종 가스, 특히 화학테러에 사용되는 화학작용제에 대해서 뛰어난 선택성을 가진다. 또한, 가스 센서 소자의 성능 측정 장치는 가스 센서 소자와 측정가스의 반응 시간을 최소로 한다. 본 발명에 의한 반도체식 후막 가스 센서 소자는 각종 가스, 특히 화학테러에 사용되는 화학작용제에 대해서 뛰어난 선택성을 가진다. 본 발명에 의한 가스 센서 소자의 성능 측정장치는 가스 센서 소자와 측정가스의 반응 시간을 최소로 한다. 선택성을 부가하기 위하여 후막가스 센서 어레이를 제작한 후 4가지 유사작용제간의 분류를 수행한다.또한, 가스 센서 소자의 성능 측정 장치는 가스 센서 소자와 측정가스의 반응 시간을 최소로 한다.