일반기술

대기압 플라즈마를 이용한 표면 세정방법

본 발명은 대기압 플라즈마를 이용한 표면 세정방법에 관한 것으로, 시료 표면의 불순물 존재여부를 검사하는 제 1검사단계와 상기 시료 표면의 세정목적에 따라 선택된 반응가스를 대기압 이상의 압력으로 반응가스공급부에 공급하여 플라즈마 건으로 유입시키는 반응가스 유입단계와 상기 플라즈마 건내의 전극에 고전압공급부에서 발생된 고전압을 공급하여 대기압 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생단계와 상기 플라즈마 건을 통해 발생된 대기압 플라즈마를 시료의 표면으로 분출하여 시료 표면의 불순물을 제거하는 세정단계와 세정된 시료 표면의 불순물 잔존여부를 검사하는 제 2 검사단계로 구성되어, 환경을 오염시키지 않으면서 청정한 표면을 갖는 세정부품을 얻을 수 있는 효과가 있다.본 발명의 대기압 플라즈마를 이용한 표면 세정방법에 의하면, 환경을 오염시키지 않으면서 저가로, 우수한 세정효과를 누릴 수 있는 효과가 있다.( 본 발명은 대기압 플라즈마를 이용한 표면 세정방법에 관한 것으로, 시료 표면의 불순물 존재여부를 검사하는 제 1검사단계와 상기 시료 표면의 세정목적에 따라 선택된 반응가스를 대기압 이상의 압력으로 반응가스공급부에 공급하여 플라즈마 건으로 유입시키는 반응가스 유입단계와 상기 플라즈마 건내의 전극에 고전압공급부에서 발생된 고전압을 공급하여 대기압 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생단계와 상기 플라즈마 건을 통해 발생된 대기압 플라즈마를 시료의 표면으로 분출하여 시료 표면의 불순물을 제거하는 세정단계와 세정된 시료 표면의 불순물 잔존여부를 검사하는 제 2 검사단계로 구성되어, 환경을 오염시키지 않으면서 청정한 표면을 갖는 세정부품을 얻을 수 있는 효과가 있다.)