일반기술

확산방지막이 형성된 기체 봉입형 과전압 보호소자의 제조방법

본 발명은 기체 봉입형 과전압 보호소자에 관한 것으로, 원통형 유리관에 도전성 피막을 증착 후 절엽갭을 형성한 원통형 알루미나 기판과 불활성기체를 함께 채워봉입하여 제조한 확산방지막이 형성된 기체봉입형 과전압 보호소자에 관한 것이다. 원통형 알루미나 기판을 아세톤으로 초음파 세척 후 건조하는 제 1단계와 상기 아세톤으로 세척된 원통형 알루미나 기판을 표면 질화 처리에 의한 확산방지막을 형성하는 제2단계와, 상기 확산방지막이 형성된 원통형 알루미나 기판에 도전성 피막을 증착하는 제3단계를 포함한다.본 발명의 다른 특징으로서, 상기 제2단계의 표면 질화 처리작업은 원통형 알루미나 기판을 200 sccm/min 이하의 질소 분위기에서 500℃~700℃의 온도범위 내에서 표면 질화 처리로 형성한다. 본 발명의 다른 특징으로서, 상기 제2다녜에서 형성되는 확산방지막은 상압 고온질화법이나 저압에서 플라즈마 질화법을 이용하여 두께 범위를 0.01~1로 형성한다.본 발명의 다른 특징으로서, 상기 플리즈마 질화법에 의한 확산방지막 형성은 노 내의 압력을 0.01~0.001 torr 정도까지 배기 후 질소 주입으로 내부 압력을 1~10torr 로 형성 유지한 후 300℃~900℃ 온도범위에서 플라즈마 질화 처리로 형성한다.