일반기술

방전충격보호막이 형성된 기체 봉입형 과전압 보호소자의 제조방법

본 발명은 기체 봉입형 과전압 보호소자에 관한 것으로, 원통형 유리관에 도전성 피막을 증착 후 절연갭을 혀성한 원통형 알루미나 기판과 불활성기체를 함께 채워 봉입하여 제조한 방전충격보호막이 형성된 기체 봉입형 과전압 보호소자에 관한 것이다. 원통형 알루미나 기에 도전성 피막을 증착하는 제1단계와 상기 도전성 피막이 증착된 원통형 알루미나 기판을 결정화, 안정화 열처리 작업을 진행하는 제 2단계와 상기 열처리된 원통형 알루미나 기판에 탄화 질화 방전충격보호막을 형성하는 제3단계를 포함한다. 따라서 본 발명은 물리적 또는 화학적 증착법으로 형성한 금속 도전성 피막에 보호막을 형성하여 전기적 특성의 저하없이 고속 서지 유입시에 발생하는 전기적 충격과 열화에 의한 피막의 손상을 방지할 수 있으며, 기체 봉입형 과전압 보호소자에 적용할 경우에는 그 수명을연장할 수 있다.본 발명의 특징으로는, 상기 제 1단계에서 증착되는 도전성 피막의 두께 범위는 0.3~3㎛로 형성한다. 본 발명의 또다른 특징으로는, 상기 제1단계에서 증착되는 도전성 피막의 물질 종류로는 Ti, Cr, Ni, Wm Ta의 도전성 금속을 증착한다.본 발명의 또다른 특징으로는 상기 제2단계의 결정화, 안정화 열처리 작업은 침탄 및 질화 열처리 온도를 400℃~900℃ 범위에서 작업시 방전충격보호막의 두께 조절을 용이하게 할 수 있다. 본 발명의 또다른 특징으로는 상기 제3단계에서 형성되는 방전충격보호막은 도전성 피막 두께의 5~50%로 형성한다.