일반기술
졸-겔을 이용한 에피택시얼 리튬니오븀 산화물 박막의 제조 방법
1. 리튬 이소프로폭사이드와 니오븀 이소프로폭사이드를 1:1의 몰비로 메탄올에 용해시켜 리튬 니오븀 박막 증착용 코팅 용액을 제조한다. 이 제조 방법은 기존의 에탄올을 용매로 사용하여 2회의 교반 과정을 거치는 방법에 비하여 메타올을 이용하여 1회의 교반만으로 간단하게 리튬 니오븀 박막 증착용 용액을 제조할 수 있어 생산 원가 및 제조시간의 절감할 수 있다. 2. 제조된 용액을 이용해서 코팅(250rpm/5초 및 3000∼5000rpm/20초) 및 건조 공정을 수회 반복한 후, 열처리공정(400℃이상)을 통한 에피텍시얼 리튬 니오븀 다중박막을 제조한다. 위 방법으로 제조된 리튬 니오븀 박막은 미크론 단위의 막을 에피텍시얼하게 성장시킬 수 있어 고집적 회로용 초소형 소자, 탄성파 소자 및 광도파로 소자 등으로의 응용이 가능하므로 산업적인 기대효과가 클 것으로 예상한다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 전기·전자기 기능재료
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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