일반기술

반도체 리플로우 공정를 이용한 다수의 다곡률렌즈 제조방법 및 이의 방법에 의해 제조된 도광판

본 발명은 3 차원적인 다면 렌즈를 형성하기 위한 방법으로서 기계 가공이 아닌 반도체 리플로우 공정을 통하여 제작하는 방법이다. 본 발명은 3 차원적인 다면 렌즈를 만들기 위하여 하나의 다면렌즈 구성을 위한 다수개의 지름이 다르며 각각의 거리가 다른 포토레지스트 재료의 원통형 기둥을 만들고 포토레지스트의 리플로우 특성을 이용하여 열처리를 통해 각각의 원통형 기둥이 높이와 지름에 따른 특정의 곡률을 가진 렌즈 형상이 되는 바, 인접한 렌즈 끼리 합치게 되는 효과를 이용하여 하나의 렌즈이면서 다수개의 곡률을 가지는 다면 렌즈로 만드는 것이다. 이러한 다면 렌즈는 빛의 굴절과 난반사를 조절하는 기능이 강화 되어 원하는 광학적 성능을 가진 개별 렌즈와 다수개의 어레이를 통하여 도광판 등에 응용할 수 있다. 상술한 설명에 따르면 본 발명은 리플로우 공정을 통해 이웃하는 포토레지스터 간에 의한 다곡률렌즈를 제작시킴으로써 간단한 제조 공정으로 미세한 다곡률렌즈 어레이 패턴을 제조할 수 있으며, 그에 따라 비용을 줄이고 제조 시간을 단축시키는 효과가 있다. 또한 본 발명은 리플로우되는 포토레지스터의 직경 또는 간격을 조절함으로써 포토레지스트간의 그루브의 내각을 제작자 임의대로 제조할 수 있어서 원하는 광학적 성질을 가지는 다곡률렌즈를 도광판에 임의대로 제조할 수 있는 효과가 있다.