일반기술
화학 증착법에 의한 PbTiO3 박막의 제조방법
티탄늄 모재 위에 Pb,Ti(CnH2n+1O)4, O2의 혼합기체를 이용하여 화학 증착법으로 고온 증착함으로써 기존의 방법에 의해 제조된 박막의 결함들, 즉 박막내의 내부응력, 박막의 불균질성, 낮은 온도에서의 증착으로 인한 모재와의 나쁜 결합력, 완전하지 못한 결정성에 의해 저하된 물리적, 전기적 특성 등을 향상시킨다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 전기·전자기 기능재료
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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