일반기술

절연체와 전극 사이의 점착이 억제된 고주파 마이크로 전자기계 시스템 스위

본 기술의 마이크로 전자기계 시스템 스위치는 소정간격으로 이격된 RF 입력 신호라인과 RF 출력 신호라인, 상기 신호라인들 상에 소정거리 이격되어 형성된 접촉금속을 포함하는 이동부재, 상기 이동부재에 풀다운 전압을 인가하여 이동부재를 휘게하여 신호라인간을 접촉금속으로 연결하며, 이동부재와 함께 캐패시티브 구조를 형성하는 구동전극 및 상기 구동전극과 이동부재 사이를 격리시키는 실리콘질화막과 실리콘산화막으로 구성되는 복합절연막을 포함한다. 복합절연막으로는 ONO(Oxide/Nitride/Oxide), NO(Nitride/Oxide), ON(Oxide/Nitride), 및 실리콘산화질화막(SiOxNy) 중에서 선택된 어느 하나를 사용하여 이동부재와 구동전극을 격리시키는 절연막 내부로 전하가 주입되지 않도록 한다.○ 기술의 독창성: 정전력으로 구동하는 캐패시티브(capacitive) 스위치에서 발생하는 절연막 내부로의 전하주입에 기인한 점착 발생을 감소시키는데 사용되는 기술로 독창성이 매우 뛰어남. ○ 기술의 우수성: 정전력을 구동력으로 하는 캐패시티브 스위치에서는 스위치의 수명을 연장시킬 수 있다. ○ 기술의 활용 가능성: 기존의 정전력을 구동력으로 하는 캐패시티브 스위치에 본 기술을 적용할 수 있음. ○ 관련 유사기술과 비교한 시장 경쟁성: 정전력을 구동력으로 하는 캐패시티브 스위치의 수명을 연장시키기 때문에 충분한 시장 경쟁력이 있다고 사료됨. ○ 본 기술의 이전사업화 조건 등을 고려한 경제성: 본 특허는 다른 기관과 연계되지 않아 기술이전사업화가 용이함.