일반기술

고능률 고정밀 전해폴리싱 시스템

본 연구는 반도체, 생명공학, 의료기기, 초정밀 압력계측기 산업 등의 핵심부품인 고 순도 가스공급관, 진공관 등의 극청정 (ultra-clean) 내면생성을 위한 핵심 가공기술에 관한 것이다. 이러한 첨단 산업분야의 고 부가가치 핵심부품의 생산능력을 확보할 수 있도록 하는 고능률·고정밀 전해폴리싱 (electropolishing)시스템의 개발이 최종 목표이며 수행내용으로는 전해폴리싱 공정기술 분석 및 개발, 시스템 설계기술, 적정 전해액의 선정 및 평가, 전해폴리싱 가공표면의 측정을 통한 가공면 특성 분석 등이다.극청정 내면을 갖는 각종 스테인레스관은 표면에 비금속 게제물 또는 불순물이 존재하거나 스크래치 등 불균일한 형상이 존재할 경우 고 순도 가스의 공급시 표면에 오염물질이 부착하게 되고 부분적인 부식과 이로인한 미세 균열 (micro crack)이 발생하여 공급 가스 및 유체의 오염을 유발하게 된다. 따라서 기계적인 연마스크레치와 표면 변질층이 없는 깨끗한 표면이 요구된다.전해폴리싱 기술의 핵심은 이러한 가공변질층과 스크래치가 없는 깨끗한 표면을 얻는 것이며 가공 후 현미경 사진을 통해 관찰할 경우 재료의 결정입계를 따라 제거된 결정학적 표면 (crystallographic surface)을 형성시키는 것이다.