일반기술

정밀진공게이지 복합교정장치

100Pa-1kPa-10kPa (혹은 1torr-10torr-100torr) 진공게이지는 저진공게이지의 대부분을 차지하며 반도체등 많은 공정 산업에 널리 사용되는 게이지이다. 하지만 지금까지 이 장치들을 현장에서 교정, 시험 평가하기 위해서는 마땅한 장치가 없는 실정이다. 이것은 외국의 유명 진공게이지 제작업체에도 동일한 문제이다. 본 기술은 이를 해결하고자 100 Pa-1kPa-10kPa 3 가지 범위의 정밀 진공게이지를 한꺼번에 교정할 수 있는 새로운 복합 교정장치로 책상 위에 올릴 수 있는 소형, 컴팩트한 구조이며 높은 반복성과 정확성을 갖고 있어 CDG 같은 정밀진공게이지 개발과 교정, 시험 평가에 적합한 복합 교정, 시험, 평가 장치이다. 본 기술은 압력의 기본 원리를 이용한 기술로 매우 정확하고도 정밀한 진공측정이 가능하다. 이 장치를 이용하면 많은 진공게이지의 정확한 성능 평가와 히스테리시스 반복성 등 다양한 특성을 분석 할 수 있으며 제로조정, 스팬조정 등 진공 게이지 생산 과정에서 필수적인 기능을 높은 정확도로 손쉽게 제공할 수 있다. 본기술의 활용분야로는 진공게이지 제작 업체, 진공게이지 교정/시험 업체, 반도체 공장, 프로세스 산업에서 응용될 수 있다.