일반기술

극청정 진공기술을 이용한 이종재료 접합 설계/평가 기술

재질 분석, 불순물 분석, 미세 누출 제어 등 여러 복합적인 생산요인을 필요로 하는 극청정용 진공부품 개발은 단순한 생산 기술만으로는 한계에 다르기 때문에 체계적인 공정 관리와 feedback 기술이 필연적이다. 본 진공부품 개발기술은 진공 발생 및 제어, 불순물 제서 등 진공 특성에 기반을 둔 분석, 평가 및 이종 접합을 필요로 하는 이종재질의 sealing 설계, 가공, 제작에 이르기까지의 전 생산 공정의 체계적인 진행으로 부품을 개발하는 단계를 포함하고 있다. 전량 수입품에 의존하고 있는 극청정 진공용 sealing 부품의 국산화를 이룩함으로서 수출입 불균형을 현저하게 감소시킬 수 있으며, 또한 개발된 기술을 활용하여 기타 공정용 진공장치를 개발하는 초석을 삼을 수 있다. 연간 수백억 원에 달할 수 있는 소모품 형태인 진공부품의 개발 기술은 국내의 파생적인 관련 산업의 국산화율을 획기적으로 높일 수 있다. View port, Electrical Feedthrough, Isolator 등 진공을 사용하는 업체에 활용될 수 있다.