일반기술

홀센서를 이용한 이온주입기의 안정화된 아크 전류제어기술

본 기술은 이온을 주입시키는 장치에서 이온전류를 제어하는 기술로서 고전압 발생장치의 고압 안정화기술, 이온전류 감지기술, 초기 이온빔 방출시 발생되는 불연속성 전류를 안정화시키는 제어기술 및 이온빔 전류의 난조로 인한 시스템 손상을 방지하는 기술 등으로 구분되며 각종 정밀측정기술과 감지기술등이 포함된다. 자동제어라인의 센싱기술과 정밀측정, 관련 설계 및 응용기술에 활용 , 최적제어 회로설계기술에 활용될 수 있다. 본 기술은 이온을 주입시키는 장치에서 이온전류를 제어하는 기술로서 이온빔 발생장치의 소프트스타트회로설계로 안정된 작업이 가능할 뿐만 아니라- 정밀 제어회로설계로 운전 시 발생되는 난조감소- 이온빔의 안정적 동작 가능- 정밀측정설계로 시스템의 신뢰도 및 정밀도 향상■ 활용 가능 분야 : 자동제어 라인에서 전류, 전압, 온도, 길이 및 압력 등 센싱기술과 정밀측정 관련 설계 및 응용기술에 활용 최적제어 회로설계기술에 활용