일반기술

레이저를 이용하여 기재로부터 나노막대를 분리시키는 방법

본 기술은 레이저를 이용하여 기재로부터 나노막대를 분리시키는 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 레이저를 크게 흡수하지 않고 투과할 수 있는 기재위에서 반도체 나노막대를 성장시키고 성장된 나노막대를 레이저를 이용하여 기재에서 분리시킴으로써 크기가 균일한 나노막대를 대량으로 생산할 수 있도록 한 레이저를 이용하여 기재로부터 나노막대를 분리시키는 방법에 관한 것이다.즉, 본 기술은 산화아연 나노막대 및 기타 나노막대에 특정 파장을 가지는 레이저 빔을 조사시켜 나노막대와 기재의 선택흡수에 의해 발생하는 열팽창 차이로 인한 응력을 이용하여 기재와 나노막대를 분리시킴으로써 고밀도 고효율의 나노소자 개발에 적용할 수 있도록 한 레이저를 이용하여 기재로부터 나노막대를 분리시키는 방법에 관한 것이다.한편, 본 발명은 반도체 나노막대를 기재로부터 분리시키는 방법으로서, 더 상세하게는 레이저를 크게 흡수하지 않고 투과할 수 있는 기재 위에 반도체 나노막대를 성장시키고 성장된 나노막대를 레이저를 이용하여 기재로부터 분리시킴으로서, 크기가 균일한 나노막대를 대량으로 생산할 수 있는 나노막대 분리방법에 관한 것이다.본 기술에 따른 레이저를 이용하여 기재로부터 나노막대를 분리시키는 방법은,1)레이저 빔을 크게 흡수하지 않고 투과시킬 수 있는 기재위에서 반도체 나노막대를 성장시키고 성장된 나노막대를 레이저를 이용하여 기재에서 분리시킴으로써 크기가 균일한 나노막대를 대량으로 생산할 수 있도록 하는 이점을 제공한다. 즉, 본 발명은 산화아연 나노막대 및 기타 나노막대에 특정 파장을 가지는 레이저 빔을 조사시켜 나노막대와 기재의 선택흡수에 의해 발생하는 열팽창 차이로 인한 응력을 이용하여 기재와 나노막대를 분리시킴으로써 고밀도 고효율의 나노소자 개발에 적용할 수 있도록 하는 이점을 제공한다. 2)기재위에 성장된 나노막대를 레이저를 이용하여 분리시킴으로써 나노막대의 손상없이 균일한 크기를 가지는 나노막대를 대량으로 생산할 수 있는 이점을 제공한다. 3)단일 나노소자 및 복합 나노소자의 집적화를 통해 고효율, 고집적, 복합기능의 나노소자의 개발을 가능하게 할 수 있는 이점을 제공한다.