일반기술

In-situ형 진공게이지 직접 및 비교교정 장치 설계제작기술

◦ 본 기술은 부피가 서로 다른 진공용기에 기체를 순차적으로 확장시켜 교정용기의 압력을 계산하는 정적법 (static expansion method) 표준기에서 절대교정된 기준 게이지를 이용하여 게이지 이동이 없이 in-situ 상태에서 오리피스 기체흐름 제어 방법에 따라 진공게이지의 비교교정이 가능한 장치이다. ◦ 정적법의 기본원리는 부피가 다른 두 용기의 압력차이는 부피차이에 비례한다는 보일의 법칙 (Boyle's law)이다. 즉 온도가 같으면 P1V1=P2V2이므로 압력 P1과 부피율 (V1/V2)을 알고 있으면 모르는 압력 P2를 계산할 수 있다는 것이다. 따라서 그림 1의 장치에서처럼 정확한 게이지 교정을 위해서는 용기 A에 부착된 게이지 A의 정확한 교정, 용기 A, B, C 상호간의 부피율 측정, 용기의 탈가스 (outgassing)량, 교정용기 C의 도달진공도(base pressure) 등에 따라 절대교정과 비교교정의 불확도 (uncertainty)가 결정된다. ▶ 개발된 관련 세부기술 : - 정적법에 의한 기준기 절대교정과 오리피스 기체흐름법에 의한 게이지 비교 교정 결합기술 - 저진공에서 고진공 영역까지의 기준압력 발생기술 및 교정기술 - 오리피스 기체흐름 안정화 방법에 의한 진공게이지 비교교정기술◦ 지금까지는 10E-3 Pa～10E5 Pa 진공게이지의 절대교정과 비교교정이 각각 다른 장치 에서만 가능했던 것을 본 기술을 활용하면 한 교정 장치에서 교정이 가능하므로 시간을 단축할 수 있을 뿐만 아니라 불필요한 게이지의 이동이 필요 없으므로 경비 를 대폭 절약할 수 있다. ◦ 이 장치를 산업용 표준기로 개발하여 개발도상국의 진공표준기관, 국가 진공게이지 교정검사기관, 진공게이지 개발업체 등에 판매하면 진공표준의 소급성 전파와 일부 장치의 수입대체효과도 기대할 수 있다.