일반기술

석영 재질의 백금 도금한 쌍곡선면 사중극자 질량분석기

- 석영관의 한 면을 쌍곡선 면으로 가공하여 기본으로 사용함. - 쌍곡선 면이 가공된 석영관에 원하는 형태로 백금을 coating을 실시함. - 백금 coating한 4개의 석영관을 평행하게 조립을 한다 - 대각선으로 마주 보는 2쌍을 전기적으로 연결하고 RF/DC 전원을 인가하는 방법을 사용한다. - Prefilter에 RF 전원을 연결하는 방법을 사용금속봉으로 만들어진 종래의 사중극자와 달리 열팽창이 매우 낮은 석영 재질을 사용하여 변형이 발생하지 않을 뿐만 아니라, 고온의 산소 분위기에서도 산화되지 않는 백금 표면을 사용하여 안정된 신호를 검출할 수있다. RGA, GCMS, LCMS 등 각종 질량분석기의 핵심부품인 mass filter로 활용가능금속봉으로 만들어진 종래의 사중극자와 달리 열팽창이 매우 낮은 석영 재질을 사용하여 변형이 발생하지 않을 뿐만 아니라, 고온의 산소 분위기에서도 산화되지 않는 백금 표면을 사용하여 안정된 신호를 검출할 수있다. 연간 세계시장 규모 10억불인 질량분석기(RGA, GCMS, LCMS 등 각종 질량분석기의 핵심부품인 mass filter로 활용 가능한 핵심부품으로 상용화할 수 있다. 국내의 질량분석기 개발을 유도하며 세계시장에 수출이 가능하다.