일반기술
진공증착법을 이용한 베타형 PVDF 박막의 제조
압전 및 초전 센서에 사용되는 PVDF 박막을 진공증착법으로 제조하여 박막의 특성을 향상하였으며, 종래의 제조방법은 알파형 박막을 제조한 후에 후처리공정을 거쳐 센서재료로 사용가능한 베타형으로 제조하였으나, 이번 기술에서는 진공증착시에 직접 베타형 PVDF 박막을 제조할 수 있다.습식법으로 제조된 박막에 비해 진공증착법으로 제조된 박막은 질이 우수하며, 용매에 인한 인체로의 해가 없을 뿐 만 아니라, 베타형으로 직접 제조가 가능한 장점이 있다
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 재료 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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