일반기술
FRAM기술
강유전체 박막 물질과 증착 공정기술의 개발, 강유전체 박막의 특성 향상을 위한 전극 물질의 개발, 강유전체 박막의 조직, 도우핑, 전극의 조직 및 강유전체 박막과 전극사이의 계면 상태등의 변화에 따른 피로특성의 변화를 관찰하고, 이를 이론적 모델링을 통해 분석하여 피로특성의 발생기구를 규명박막의 미세구조와 전기적 성질간의 상관관계와 전극과 강유전체 박막의 계면에서 발생한 계면현상 등에 대해 연구함으로써 박막재료 및 박막소자공학 분야에서의 기본적인 학술체계 수립 - 강유전체 박막의 제작 공정 최적화, Pt 또는 RuO2 및 다층 전극의 제작, 강유전체와 전극물질간의 계면현상에 대한 이해 확립, 피로 특성의 개선을 위한 공정 및 설계기술 개발, 강유전체 박막을 이용한 기억소자의 신뢰성 향상
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 세라믹재료
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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