일반기술

단당류의 올리고머 유도체를 이용한 구리배선용 초저유전막

본 발명은 단당류의 올리고머 유도체를 이용한 구리배선용 초저유전막에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 알콕시실란 말단기를 갖는 단당류 유도체를 졸-젤 반응하여 제조한 신규 구조의 단당류 올리고머 유도체와, 상기한 단당류의 올리고머 유도체가 포함되어 있는 초저유전성 조성물을 박막화 한 다음 경화 및 고온 열처리를 통하여 제조한 것으로, 유전율이 낮고 기계적 강도가 매우 우수하며 2 NM 이하의 매우 작은 나노기공을 함유한 초저유전막에 관한 것이다본 발명은 유전율이 매우 낮고 동시에 우수한 기계적 강도를 갖는 나노기공을 함유한 초저유전막 제조에 관한 것으로 발명자들의 지속적인 연구결과로 얻어진 것으로, 단당류 유도체를 졸-겔 반응하여 올리고머 유도체를 합성하였고, 합성된 단당류의 올리고머 유도체는 말단에 알콕시실란기를 가지고 있어 초저유전막 제조를 위한 기공형성용 템플레이트로 유용함을 알게 됨으로 기술이 완성 되었다. 따라서 이 기술은 단당류의 올리고머 유도체를 기공형성용 템플레이트로 사용하는 용도를 제공하는 것과, 단당류의 올리고머 유도체가 함유되어 있는 초저유전성 조성을 제공하는데 다른 목적이 있다. 또한 초저유전성 조성물을 기판 위에 코팅하여 졸-겔 반응 및 고온 열처리하여 제조된 초저유전막을 제공하는 또 다른 목적을 달성 할 수 있다.