일반기술
E-ICP 플라스마 식각장비 개발
현제 반도체 공정에서 건식 식각 방식으로 널리 이용되고 있는 ICP에 Helmholz Coil을 소재로 하여 고식각율 및 높은 균일도를 갖는 식각 장비를 개발 하였으며, 이에 따른 공정 조건을 알아내었다.높은 식각율과, 균일도를 얻을 수 있었으며, 공정 시간을 단축할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 전자부품
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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