일반기술

에이에프엠 리소그라피를 이용한 미세 채널 길이를 가지는유기 박막 트랜지스터의 제조 방법

본 발명은 유기 박막 트랜지스터의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 a) 기판위에 성막된 게이트 절연막 위에 금속 패턴을 증착하는 단계; b) 상기 금속패턴을 AFM(atomic force microscopy) 리소그라피에 의하여 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 미세 채널을 형성하는 단계; c) 상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 형성된 미세 채널 사이에 유기 활성층을 성막하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 유기 박막 트랜지스터의 제조방법은 간편하면서도 정확하게 채널 길이를 형성할 수 있어 저가로 유연성 유기 표시소자를 제조할 수 있는 장점이 있다.1)본 발명에 따른 유기 박막 트랜지스터의 제조 방법은 유기 박막 트랜지스터의 구동 전압을 낮추고 응답 속도를 빠르게 하기 위해 필수적인 소오스 전극과 드레인 전극 사이의 미세 채널을 복잡하고 비용이 비싼 광리소그라피법, 전자선 리소그라피법, 나노임프린팅 및 실리콘 에칭과 같은 공정 대신 AFM 리소그라피법이라는 쉬우면서도 정확한 기술을 이용하여 미세 채널을 형성할 수 있는 획기적인 방법이다. 2)광리소그라피나 전자선 리소그라피법은 유기 재료에 치명적인 손상을 미칠 수 있어 유기박막 트랜지스터를 위한 유기 재료는 우수한 기계적 성질, 내화학약품성 및 내열성이 요구되어 유기 박막 트랜지스터의 제조에 사용되기 위해선 특별한 구조를 가지는 극히 일부의 재료만이 응용될 수 있어 유기 소자 공정에는 적합하지 않으나, 본 발명에서 사용한 AFM 리소그라피법은 유기 재료 선택의 폭을 넓혀 주는 기능을 하여, 유기 재료를 이용하고 인쇄 및 스핀코팅과 같은 도포 기술을 함께 적용하면 대면적 소자화, 유연한 표시 소자의 구동 회로의 단순화 및 저가격 생산이 가능하다. 3)본 발명의 유기 박막 트랜지스터의 미세 채널 형성 방법은 복잡하고 고가의 제조 공정을 단순화 및 저가격화 시킬 수 있고 유기 재료의 선택폭을 넓히는 효과가 있다.