일반기술

전자 주개로 기능화된 아미노테트라올 화합물 및 이를 수용액 중에서 제조하는 방법

*원리 및 구성본 발명은 질소와 같은 전자 주개 원자로 기능화된 아미노테트라올 화합물 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로 단일과 이종 금속의 금속 또는 금속 산화물을 제조하기 위한 선구 물질인 금속 착화합물의 원료로서 알콕사이트 라간드인 아미노테트라올 화합물을 수용액 중에서 고수율 및 저비용으로 쉽게 제조하는 방법에 관한 것이다.*배경 - 박막 제조 기술로는 금속 유기물 화학 증착법(metal organic chemical vapor deposition, MOCVD)이 다양한 산화물 박막을 제조하는데 가장 널리 이용되고 있다. MOCVD 공정은 장치가 비교적 간단하고, 코팅이 균일하게 이루어지며 성분 조절이 용이하여 대면적 박막 제조에 적합하다.MOCVD공정을 이용하는 박막 제조 공정에서는 사용되는 선구 물질의 개발이 매우 중요하고 필수적이다. MOCVD용 선구 물질은 낮은 온도에서 증기압이 충분히 높아야하고, 기화시키기 위해 가열하는 동안 분해되지 않을 만큼 열적으로 충분히 안정해야 하는 한편, 높은 온도에서 유기 물질 등의 분해 없이 신속히 분해되는 특성이 있어야 한다. 또한 취급과 저장이 용이해야 하고, 인체에 유해하지 않아야 하며 합성법이 간단하고 원재료의 단가가 낮아야 하는 부수적인 조건도 필요하다. - 금속 또는 금속 산화물 박막을 제조하기 위하여 MOCVD용 선구물질로 사용되는 금속 착화합물로는 할로겐화 금속, 금속 질산염, 금속 알콕사이드, 금소 ℬ-디케토네이트 화합물 등이 있다. 이들 선구 물질은 리간드에 따라 장단점을 갖는데, 예를 알콕사이드 리간드는 그 형태에 따라 단핵성, 휘발성, 용해도, 염기도, 가수 분해 반응에 대한 안정성 등에 영향을 준다.1)금속과 결합하여 착화합물의 배위 자리를 만족시키고 안정화시킬 수 질소와 같은 전자 주개 원자로 기능화된 알콕사이드 리간드인 알킬아미노테트라올을 설계하고 합성함.2)반응을 수용액에서 실시하고 마무리 단계가 간단하며 수율이 매우 높기 때문에 경제적이고 환경친화적임.3)본 발명에 의한 리간드를 사용하여 제조된 금속 착화합물은 열적으로 안정하여 금속 또는 금속 산화물 제조용 선구 물질로 활용 가능함.4)금속 또는 금속 산화물 형태를 포함하는 촉매, 무기 재료, 금속 박막, 금속 나노 입자, 금속을 포함하는 복합재용 리간드로 이용 가능함.