일반기술

새로운 백금 아미노 알콕사이드 화합물 및 그 제조방법

*원리 및 구성본 발명은 백금 선구 물질로 사용될 수 있는 신규한 백금 2가 아미노 알콕사이드 화합물에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 백금 박막이나 나노 크기의 백금 촉매 등 백금을 포함하는 재료를 위한 선구 물질로서 유용한 백금 화합물 및 그 제조 방법에 관한 것이다.*배경백금 박막을 제조하기 위한 박막 제조 기술에는 금속 증발이나 스퍼터링과 같은 물리적 증착(PVD), 금속 유기물 화학 증착법(MOCVD)이나 원자층 침착법(ALD)과 같은 화학적 증착이 있다. PVD 공정은 MOCVD나 ALD공정에 비해 균일한 층 덮임을 구현할 수 없다는 점에서 현재는 많이 이용하지 않고 있다. MOCVD법은 증학하는 동안 기질의 온도가 낮다는 것과 빠른 박막의 형성 및 균일한 층 덮임, 선택적인 영역의 증착이 가능하다는 이점을 가지고 있어 현재 ALD 공정과 함계 널리 이용되고 있다. MOCVD 공정을 이용하여 박막을 제조하기 위해서는, 이 공정에 사용되는 선구 물질의 개발이 필수적이다. MOCVD용 선구물질은 200℃이하에서 충분히 높은 증기압을 가져야 하고, 기화시키기 위해 가열하는 동안 열적으로 충부닣 안정해야 하며, 350 내지 500 ℃의 기질 온도에서 유기 물질 등의 분해 없이 신속히 분해되어야 하며, 저장 기간 동안 공기 및 습기에 충분히 안정해야 한다. 또한, 선구 물질 자체에 또는 분해 생성 물질에 독성이 없거나 적어야 하며, 합성법이 간단하고 원재료 단가가 저렴해야 한다.*종래기술종래에 백금 박막을 만들기 위새 사용된 선구 물질은 [Pt(acac)2] (여기서 acac는 acetylacetonate 이다), [CpPtMe3](여기서 Cp 는 cylopentadienyl 이다),[MeCpPtMe3] (여기서 MeCp는 methylcyclopentadienyl 이다), [Pt(PF3)4],[Pt(CO)2Cl2],[Pt(hfa)2] (여기서 hfa 는 hexafluoroacetylacetonate 이다), [PtMe2(COD)] (여기서 COD는 1,5-cyclooctadiene 이다) 등이 있는데, 이중 불소를 포함하는 화합물은 휘발성을 높일 수 있다는 장점이 있지만 박막이 불소로 오염되는 현상이 나타나고, 염소를 함유하는 화합물 역시 염소로 표면이 오염된다. [MePtMe3]화합물을 이용한 백금 박막에 대해서는 아직 전기적 특성p 대한 연구 결과가 없다. [Pt(acac)2]화합물은 위 화합물에 비해 가격이 싸고 공기과 수분에 민감하지 않다는 장점이 있지만 1torr에서 180℃ 정도의 낮은 증기압을 나타내며 낮은 온도에서 열적 분해가 일어나는 단점이 있다. *특징 및 장점1)공기와 수분에 안정하여 보관이 유리.2)금속 막이 우수한 질을 요구하는 금속 유기물 화학 증착법(MOCVD) 또는 원자층 증착법(ALD)에 사용되는 백금 선구 물질로서 손색이 없음.3)백금 박막 제조 뿐만 아니라 백금을 포함하는 재료용 선구 물질로서 유용하게 사용할 수 있는 장점이 있음.