일반기술

란탄계 산화물 선구물질 및 그 제조 방법

*원리 및 구성본 발명은 신규의 란탄계 산화물 선구물질에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 란탄, 에르븀, 프라세오디뮴, 세륨 등과 같은 란탄계 산화물 박막 제조시 선구물질로서 유용한 란탄계 착화합물 및 그제조 방법에 관한 것이다.*배경산화규소는 화학적으로 안정하면서도 양질의 규소-산화규소 계면고 뛰어난 전기적 절연 성질을 갖기 때문에 절연체로 많이 사용되었다. 그러나, 최근 반도체업계에서는 0.1 미크론 이하의 반도체 공정 기술을 도입함에 있어서 채널 길이나 게이트 유전 두께 또한 급격히 축소되어지고 있다. 따라서, 얇아진 산화규소 게이트 절연체의 직접 터널링 현상에 의한 누설 전류 문제를 해결하기 위해 적합한 대체 박막 재료 및 공정 기술에 관한 여구가 활발히 진행되고 있다.본 발명의 신규 란탄계 산화물 선구물질은 안정한 착화합물로서, 1)금속과 결합하는 리간드에 비극성 알킬기가 결합되어 있어 유기 용매에 대한 친화성이 높음2)중심 금속이 이웃한 리간드의 산소와 분자간 상호 작용을 일으키지 못하도록 입체 장애를 주기 때문에 단위체로 존재. 3)구조적 특성으로 인하여 란탄계 산화물 선구물질은 상온에서 안정한 액체로서, 유기 용매, 예를 들면 펜탄, 헥산, 디에틸에테르, 테트라하이드로퓨란, 톨루엔 등에 대한 용해도가 높고, 휘발성이 뛰어나기 때문에 이들을 사용하여 양질의 란탄계 산화막을 얻을 수 있음.4)수분에 덜 민감하고 보관이 유리하여 특히 질이 우수한 산화막을 제조해야 하는 금속 유기물 화학 증창법(MOCVD) 용의 새로운 리간드를 갖는 란탄계 산화물 박막 제조용 선구물질로서 유용하게 사용.