일반기술

티타늄 질화물 선구 물질 및 그 제조 방법

*원리 및 구성본 발명은 티타늄 질화물 선구 물질의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 합성하는 티타늄 질화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 향상하여 박막을 제조하는 데 유리하게 사용할 수 있다.*배경티타늄에 질소와 같은 전자 주개 원자로 기능화한 리간드를 도입하여 안정성과 휘발성이 향상한 새로운 선구 물질을 합성하였다. 이 착화합물들은 금속과 결합하는 아미드의 질소 주위에 비극성 알킬 기를 포함하여 아미드의 질소와 결합한 중심 금속이 이웃한 리간드의 질소와 분자간 상호 작용이 일어나지 않도록 입체 장애를 주기 때문에 단위체로 존재하는데 이 티타늄 착화합물들은 휘발성이 뛰어날 뿐만 아니라 할로겐 원소를 포함하지 않고 안정하며 보관에 유리하여 이들을 사용하면 질이 더 좋은 티타늄 질화막을 얻을 수 있을 것으로 보인다. 따라서 이 화합물들을 앞으로 원자층 침착법이나 금속 유기물 화학 증착법에 이용할 수 있을 것이다.1)휘발성이 뛰어나고 열적으로 안정한 티타늄 선구 물질을 합성함.2)선구 물질들이 할로겐 원소를 포함하지 않음3)배위 자리를 채워 단위체로 존재하는 티타늄 질화물용 선구 물질을 합성함.-본 발명에 따른 티타늄 질화물 선구 물질은 열안정성 및 휘발성이 우수할 뿐만 아니라, 수분에 덜 민감하고 보관이 유리하며 특히 질이 우수한 질화막을 제조해야 하는 금속 유기물 화학 증착법 (MOCVD) 또는 원자층 침착법 (ALD)에 사용할 선구 물질로서 유용하게 사용할 수 있으며, 이에 따라 확산 방지막 또는 전도성 전극을 제조할 수 있다.