일반기술

티타늄 산화물 선구 물질 및 그 제조 방법

*원리 및 구성본 발명은 티타늄 산화물 선구 물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 합성하는 티타늄 산화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 티타늄 산화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.*배경티타늄 산화물을 제조하기 위한 선구 물질로는 알킬산티타늄이 가장 좋은 물질인 것으로 알려져 지금까지 많이 사용되고 있다. 그 중에서도 티타늄 테트라이소프로폭사이드와 같은 알콕사이드 화합물은 액체이고 , 증기압이 높으며, 박막 증착 온도에 덜 민감하고 증착되는 박막의 표면에 도드라지는 부분이나 흐릿한 부분을 발생시키지 않아 낮은 증착온도 (<400℃)에서 티타늄 산화물이 선구물질로 사용되었다. 그러나, 이 선구물질은 공기와 수분에 대하여 반응성이 매우 높은 불포화 Ti(Ⅳ) 중심을 가지고 있다. 또한, Ti-O 결합이 높은 온도에서 쉽게 분해하여 MOVCD 공정의 장점인 층 덮임성이 나빠지게 된다.1)금속의 배위 자리르 만족시켜 단위체로 존재하는 티타늄 착화합물의 고안, 합성함.2)티타늄과 할로겐 원소의 직접 결합이 없는 신규의 티타늄 산화물용 선구 물질을 합성함.3)휘발성이 뛰어낙 열적으로안정한 신규의 티타늄 산화물용 선구 물질을 합성함.본 발명에 따른 티타늄 산화물 선구 물질은 열안정성 및 휘발성이 우수할 뿐만 아니라, 수분에 덜 민감하고 보관이 유리하여 특히 질이 우수한 산화막을 제조해야 하는 금속 유기물 화학 증착법(MOCVD) 또는 원자츨 침착법(ALD)용의 새로운 리간드를 갖는 티타늄 선구 물질로서 유용하게 사용할 수 있다.