일반기술

플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법에 관한 것으로, ITO가 코팅된 유리 기판의 표면 위에 직접 흑색 금속을 무전해도금하여 단일층 구조의 금속 시드층을 형성하고, 후공정인 금속 시드층의 식각공정에서는 갈바닉 쌍의 효과를 이용하여 식각을 수행하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법에 관한 것이다.*플라즈마 디스플레이 패널은 가스의 방전현상을 이용하여 화상을 표시하기 위한 장치로, 이 분야에서 가장 유망한 해상도 및 조도비를 갖고 있으며, 응답속도가 빠를 뿐만 아니라, 대형화와 평면 박형화가 용이하고, 넓은 시야각과 형광체를 이용한 완전한 색상의 구현 및 고휘도가 가능한 장점이 있다. 따라서, 상기 플라즈마 디스플레이 패널은 차세대 고화질 텔레비젼(High Definition TeleVision; HDTV)을 목표로 고정세화, 대화면화, 고휘도화, 고콘트라스트화, 고효율화, 저소비전력 및 저가격화 등의 그 핵심 기술분야에서 활발한 연구가 계속되고 있다.이러한 플라즈마 디스플레이 패널은 가스 방전시 발생하는 진공자외선이 형광체를 발광시킴으로써 발생하는 가시광을 이용하여 화상을 표시하는데, 복수개의 전극을 2개의 기판에 각각 코팅하고 양 기판의 사이에 가스를 채워 밀봉한 후 방전전압을 가하여, 이 방전전압에 의해 소정 패턴에 형성된 형광체를 여기시킴으로써 원하는 숫자, 문자 혹은 그림을 표시하게 된다.통상, 상기한 플라즈마 디스플레이 패널에서는 투명 ITO 전극의 라인 저항을 줄이기 위하여 금속 전극을 ITO 전극보다 좁은 폭으로 형성시키게 된다.본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법에 의하면, 기판의 표면 위에 무전해도금의 방법으로 단일층 구조의 흑색 금속 시드층을 직접 형성하고, 그 위에 금속 시드층의 소재보다 상대적으로 표준전극전위가 높은 귀한 금속을 사용하여 금속 전극층을 패터닝한 다음, 금속 시드층의 식각공정에서 식각 용액 내 금속 전극층에 양극을 연결하고 불용성의 상대 전극에 음극을 연결한 후 전원을 인가하여 식각처리함으로써, 다음과 같은 효과가 있다.1) 금속 시드층의 형성시, ITO가 코팅된 유리 기판 상에 직접 흑색 금속을 무전해도금하여 형성함으로써, 고가의 증착장치를 사용하지 않아도 되기 때문에 비용면에서 유리하다.2) 금속 시드층의 식각처리시, 전압을 인가함에 따라 식각 용액 내 귀한 금속은 더욱 음극현상이 가속화되고 천한 금속은 더욱 양극현상이 가속화되는 갈바닉 쌍의 효과를 이용하는 바, 종래의 분무식이나 침적식 식각에 비해 선택성이 우수하여 전극 손실 없이 깨끗한 식각 결과를 얻을 수 있고, 또한 신속한 식각처리가 가능하다. 3) 종래의 식각에 비해 많은 식각제 및 고가의 장비가 필요 없고, 따라서 제조비용측면에서도 유리하다.